项目
单晶炉高效加料及掺杂吊装一体化技术研究
本项目旨在研发一种协同控制技术，将高效加料、精准掺杂与智能吊装有机融合，解决单晶硅生产中加料与掺杂分步作业效率低、损耗大、均匀性差以及炉体易受损等痛点。通过优化加料结构与掺杂剂量控制，实现工艺无缝衔接，提升生产效率，保障产品质量并降低成本。
单晶炉坩埚托盘提升及拆炉保护关键技术研究
该项目聚焦单晶炉坩埚托盘提升稳定性差及拆卸过程易损伤等问题，重点研发高精度提升与全流程防护技术。通过优化传动结构和闭环控制，将定位误差提升至≤0.1mm，并构建梯度冷却与柔性防护系统，以增强国产单晶炉装备性能，防止硅料污染和设备损坏。
晶棒无崩边截断技术研究
本项目旨在解决晶棒截断过程中出现的崩边、裂纹和表面损伤等问题。通过开发精准力控截断与缺口缓冲保护技术，优化刀具结构和工艺参数，并配合智能监测系统，实现无崩边、无裂纹截断，提高晶棒利用率和切口平整度，降低后续加工成本。
